[이지경제=김용석 기자] 세메스는 반도체 포토공정용 트랙장비 ‘불화아르곤이머전 스피너(설비명: 오메가 프라임)’ 2호기에 대한 양산에 들어갔다고 24일 밝혔다.

스피너는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼에 패턴을 형성하기 위해 감광액을 도포하고 노광기에서 빛을 조사한 후에 다시 현상하는 설비로, 현재 일본 업체인 도쿄일렉트론(TEL)이 관련 시장 점유율을 90% 이상 차지하고 있다.

그간 불화크립톤(KrF) 스피너를 생산하던 세메스는 광원의 파장 선폭이 짧아진 고성능 노광기에 대응하기 위해 불화아르곤이머전(ArF-i) 장비를 새로 개발, 지난해 양산 1호기를 출하한 바 있다.

불화아르곤 이머전 장비는 고청정, 고생산성, 고정밀도가 요구되는 3고(高) 설비다. 세메스는 로봇 위치 조정과 베이크 온도 세팅 등을 위해 자동화 시스템을 장비에 적용했다. 비전 감시 기능 시스템과 베이크 자동 보정 등의 특화 기술도 포함했다.

최길현 세메스 최고기술책임자는 “반도체 핵심 공정 장비인 오메가 프라임 개발로 향후 수입 대체 효과가 클 것”이라며 “앞으로 고부가가치 중심의 독보적이고 차별화한 장비를 선보이며 기술 혁신 기업으로 거듭나겠다”고 말했다.